ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
ИПМех РАН |
||
В настоящем докладе представлены особенности формирования ЛИППС на поверхности пленок аморфного кремния толщиной до 1 мкм при воздействии фемтосекундными (300 фс) лазерными импульсами с длиной волны 1030 нм с изменением энергии и числа импульсов (N=1-1000) лазерного излучения. Полученные структуры проанализированы методами растровой электронной микроскопии и энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии с целью нахождения оптимальных режимов фотовозбуждения пленок. Также в настоящей работе продемонстрирована высокопроизводительная запись субволновых ЛИППС хорошего качества и большой площади (1×1 мм2) при помощи высокоскоростных гальваносканеров. Анализ модифицированных областей методами конфокальной спектроскопии комбинационного рассеяния показывает наличие кристаллической фазы кремния после воздействия фемтосекундных лазерных импульсов