|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Calculation of 2D charged particles density distributions and current-voltage characteristics of RF CCP discharge by means of Galerkin methodдоклад на конференции
- Авторы: Dvinin S., Park W.T., Nikishin N., Kashaba A., Kalinin A.
- Конференция : 64th Gaseous Electronic Conference
- Даты проведения конференции: 2011
- Тип доклада: не указан
- Докладчик: Dvinin S.
- Место проведения: Salt Lake City, Utah, USA
- Добавил в систему: Двинин Сергей Александрович