|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Особенности распыления нитридов с различным соотношением масс компонентдоклад на конференции
- Авторы: Промохов А.А., Юрасова В.Е., Еловиков С.С., Мосунов А.С.
- Международная Конференция : 14-я Международная конференция "Взаимодействие ионов с поверхностью"
- Даты проведения конференции: 1999
- Тип доклада: не указан
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Звенигород
- Добавил в систему: Юрасова Вера Евгеньевна