|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Effect of chemical processes on silicon dioxide and nitride sputtering доклад на конференции
- Авторы: Bachurin V.I., Yurasova V.E., Churilov A.B.
- Международная Конференция : The Second International Meeting on Recent Developments in the Study of Radiation Effects in Matter (REM2)
- Даты проведения конференции: 2008
- Тип доклада: не указан
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Crete, Greece, Greece
- Добавил в систему: Юрасова Вера Евгеньевна