|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Оптическая литография без маски. (обзор)доклад на конференции
- Авторы: Рыжикова Ю.В., Белокопытов Г.В.
- Всероссийская Конференция (Семинар (workshop)) : XII Всероссийская школа-семинар «Волновые явления в неоднородных средах»
- Даты проведения конференции: 2010
- Дата доклада: 27 мая 2010
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Звенигород
-
Аннотация доклада:
В обзоре анализируются современные фотолитографические системы без использования фотошаблонов. Приводятся их основные технические характеристики, а также факторы, ограничивающие пространственное разрешение и быстродействие. Выделяются перспективные направления развития.
- Добавил в систему: Рыжикова Юлия Владимировна