ИСТИНА

Фториды ЩЗЭ обладают уникальными физико-химическим свойствами, благодаря которым они используются для изготовления оптоволоконных кабелей, антиотражающих покрытий, лазеров, твердых электролитов и др. В настоящее время фториды ЩЗЭ получают и используют в виде керамики, нанопорошков и тонких пленок. В синтезе тонких пленок особое место занимают химические методы, основанные на образовании фторидов ЩЗЭ при разложении фторсодержащих металл-органических прекурсоров (исходных соединений). В последнее время активизировался интерес к осаждению тонких пленок из растворов металл-органических прекурсоров (Metall Organic Chemical Solution Deposition, MOCSD). Суть этого метода состоит в получении раствора металл-органических соединений (прекурсоров), содержащих элементы-компоненты материала в необходимой стехиометрии, нанесении на подложку пленок прекурсоров с последующим превращением их в функциональные слои при термообработке и отжиге в соответствующих условиях. Карбоксилаты металлов – это одни из наиболее перспективных прекурсоров для осаждения буферных слоев методом MOCSD. Растворимость и термическая устойчивость этих соединений могут быть легко модифицированы с учетом требований метода осаждения. В настоящей работе в качестве новых прекурсоров предложены разнолигандные комплексы трифторацетатов ЩЗЭ состава M(CF3COO)2(L)x(H2O)y, где L – этаноламин или диглим. Их образование доказано совокупностью данных элементного, ИК спектроскопического и рентгеноструктурного анализов. Особенности разложения разнолигандных комплексов исследованы термическими методами: динамической термогравиметрией и дифференциальным термическим анализом. Проведено их сравнение с термическим поведением трифторацетатов ЩЗЭ. Разложение прекурсоров происходит до соответствующих фторидов, размер частиц которых зависит от атмосферы, используемой в процессе отжига: 20-40 и 80-120 нм в смеси аргон-водород и на воздухе, соответственно. Методом MOCSD из предложенных прекурсоров получены пленки фторидов стронция и кальция, которые изучали с помощью РЭМ, а также дифракционными методами: РФА и ДОЭ. Было показано, что данный метод также позволяет получать ориентированные фторидные пленки на текстурированных подложках. Работа выполнена при финансовой поддержке РФФИ (№8470; 08-03-01012)