|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Влияние ионной бомбардировки на скорость травления и состав поверхности пленки рутения в кислородсодержащей плазмедоклад на конференции
- Авторы: Амиров И.И., Изюмов М.О., Алов Н.В., Шаранов П.Ю., Лопаев Д.В., Рахимова Т.В.
- Международная Конференция : XXVI Международная конференция Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП-2023) 21-25 августа 2023, Ярославль, Россия
- Даты проведения конференции: 21-25 августа 2023
- Дата доклада: 24 августа 2023
- Тип доклада: Стендовый
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Ярославль, Russia
- Добавил в систему: Алов Николай Викторович