ИСТИНА

Основное преимущество двухчастотной ВЧ емкостной (ДЧВЧЕ) плазмы, благодаря которому её широко используют в технологии производства микроструктур – в возможности независимого управления плотностью плазмы и энергией ионов путем варьирования вкладов ВЧ мощности на различных частотах. Однако, обеспечение строгого разделения действия частот затруднено тем, что ионы способны реагировать на поле низкой ВЧ частоты, что приводит к изменению кинетики электронов, и, следовательно - к перестройке всего разряда. Это так называемые ион-динамические эффекты ДЧВЧЕ плазмы. В данной работе эти эффекты были изучены экспериментально через пространственно-временную динамику параметров двухчастотной ВЧ плазмы по периоду низкой частоты – температуры Те и концентрации электронов 𝑛е методом фазово-разрешённой оптической эмиссионной спектроскопии (ФРОЭС) в симметричном ДЧВЧЕ (81 & 1.76 МГц) разряде в смеси Ar (95%) и Xe (5%).