|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Experimental and Numerical Analysis of Plasma Parameters in Low Pressure RF Dischargeдоклад на конференции
- Авторы: Shishkin G.G., Shishkin A.G.
- Международная Конференция : 13th International Conference On Gas Discharges and Their Applications
- Даты проведения конференции: 2000
- Тип доклада: не указан
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Glasgow, UK
- Добавил в систему: Шишкин Алексей Геннадиевич