ИСТИНА

Рассмотрены методические основы использования информационно-оптических 3D-технологий в процессе обучения студентов старших курсов и аспирантов физико-химических специальностей методам высокопроизводи-тельного контроля толщины, профилей химического состава, структуры, то-пографии и статистических свойств различных слоев на поверхности матери-алов при использовании широкого класса зондовых и сканирующих методов ултрафиолетовой, видимой и инфракрасной спектроскопии поверхности, компьютерных оптических видеомикрозондов, оптических сканеров, цифро-вых микроскопов и др. Формируя видеомикроизображение зондируемого микроучастка поверхности материала и измеряя распределение интенсивно-сти отраженного оптического сигнала по полю изображения данного микро-участка на различных длинах волн, можно в реальном времени унифициро-вано получать 3-мерное (3D) изображение рельефа толщины и свойств (хи-мического состава, степени неоднородности и др.) сплошных неоднородных слоев, островков, зародышей новой фазы, вторично осажденных слоев по данному участку поверхности.