ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
ИПМех РАН |
||
На основе подхода, названного методом "фиктивной частицы", удается построить алгоритм анализа мелких дефектов кремниевых подложек. В основу вычислительной схемы положен метод Дискретных источников. Представлены численные результаты, иллюстрирующие эффективность развитого подхода.