|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Surface Defects Investigation Using Fictitious Particles and Discrete Sources Methodдоклад на конференции
- Автор: Eremin Yu A.
- Конференция : Scattering by aggregates (on surfaces)
- Даты проведения конференции: 24-25 марта 2014
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: Eremin Yu A.
- Место проведения: Institut für Werkstofftechnik, Bremen, Germany, Germany
-
Аннотация доклада:
На основе подхода, названного методом "фиктивной частицы", удается построить алгоритм анализа мелких дефектов кремниевых подложек. В основу вычислительной схемы положен метод Дискретных источников. Представлены численные результаты, иллюстрирующие эффективность развитого подхода.
- Добавил в систему: Еремин Юрий Александрович