ИСТИНА

Объектом исследования являлись образцы полидиметилсилоксана. В работе проводи-лись эксперименты по модифицированию поверхности ПДМС пучками атомарных и кластерных ионов аргона с энергиями до 10 кэВ. Угол падения ионного пучка составлял 60˚ и 0˚, флюенс облучения составлял от 10^15 до 10^16 ион/см^2. В результате облучения на поверхности образовывался микрорельеф, характерные размеры, интенсивность и упорядоченность которого зависели от параметров ионного пучка. Топография поверхности исследовалась методами атомно-силовой и оптической микроскопии. Описаны основные процессы, предположительно влияющие на формирование микрорельефа, Представлены данные о параметрах возникающего микрорельефа, сделаны выводы о соответствии по-лученных данных описанной модели взаимодействия низкоэнергетичного ионного пучка с полимерной мишенью.