|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
High rate dc magnetron sputteringдоклад на конференции
- Авторы: Mitin V.S., Pal A.F., Serov A.O., Ryabinkin A.N., Parfinovich A.E.
- Международная Конференция : 14th International Conference on Plasma Surface Engineering
- Даты проведения конференции: 2014
- Дата доклада: 16 сентября 2014
- Тип доклада: Стендовый
- Докладчик: Pal A.F.
- Место проведения: Garmisch-Partenkirchen, Germany , Германия
- Добавил в систему: Паль Александр Фридрихович