|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ ДАТЧИКА ДАВЛЕНИЯ С ПОВЫШЕННОЙ СТОЙКОСТЬЮ К ПЕРЕГРУЗОЧНОМУ ДАВЛЕНИЮдоклад на конференции
- Авторы: Пригодский Денис Михайлович, Басов Михаил Викторович
- Локальная Конференция : XI Научно-техническая конференция "ВНИИА-2017"
- Даты проведения конференции: 9-31 марта 2017
- Дата доклада: 20 марта 2017
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: не указан
- Место проведения: ФГУП ВНИИА им. Духова, Russia
-
Аннотация доклада:
В работе предложена конструкция кремниевого чувствительного элемента давления (ЧЭД) с упорами, обеспечивающая стойкость к многократным перегрузкам как со стороны тензосхемы, так и со стороны мембраны. Проработана оптимальная технология нанесения припойного стекла, обеспечивающая точные расстояния между мембраной кристалла и упорами. Получена серия ЧЭД с номинальным давлением в диапазоне от 1,6 кПа до 25 кПа, имеющих 10 кратное повышение прочности без ухудшения остальных параметров.
- Добавил в систему: Басов Михаил Викторович
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | Doklad_NTK_Basov_2017.docx | 598,0 КБ | 6 августа 2021 [BasovMikhail] | |
| 2. | Презентация | Prezentatsiya_NTK_Basov_2017_.pptx | 3,1 МБ | 6 августа 2021 [BasovMikhail] |