ИСТИНА

Для получения квантовых нанонитей (КНН) был применен двухступенчатый метод химического травления с участием металла. Образцы были сформированы химическим травлением пластин кристаллического кремния c-Si с двусторонней полировкой, p-типом проводимости, кристаллографической ориентацией (100) и удельным сопротивлением 0,001 Ω*см и 10 Ω*см. Исходную пластину c-Si помещали в раствор AgNO3/HF (0.02 моль AgNO3 / 5 моль HF) на 15-60 секунд. В результате на поверхность пластины осаждались частицы серебра. Затем пластину помещали во второй раствор H2O2/HF (30% H2O2 / 5 моль HF в соотношении 1:10 по объёму) при комнатной температуре. В результате происходили окислительно – восстановительные реакции. Это приводило к химическому протравливанию тех участков пластины, которые были покрыты частицами Ag. В зависимости от времени травления, менялась толщина слоя образовавшихся нитевидных структур. Для удаления частиц серебра, образцы промывались в 65% растворе HNO3 в течение 15 минут. Для полученных слоев были измерены спектры отражения в инфракрасном (ИК) диапазоне, а также спектры комбинационного рассеяния света (КРС). Используя полученные методы, обнаружено наличие свободных носителей заряда как в исходной подложке, так и в слоях КНН толщины порядка единиц микрометров. Тем же методом определены эффективные показатели преломления и пористость слоев КНН. Выполнено исследование зависимости сигнала КР слоев КНН, полученных на сильнолегированной подложке, от толщины слоя при разных длинах волн возбуждения. Обнаружено усиление сигнала КРС в слоях КНН по сравнению с c-Si. Методом КРС независимо обнаружено наличие свободных носителей заряда в слоях КНН. Установлено, что в слое КНН толщиной 2 мкм, обладающего пористостью 85%, проявляется квантово-размерный эффект, который наряду с резонансом Фано может объяснить изменение формы КР спектра. Полученные данные позволили оценить пористость и концентрацию свободных носителей заряда.