|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Лазерные методы диагностики технологических сред в микроэлектронике. доклад на конференции
- Авторы: Бартенев В.Я., Пацаева С.В., Чубаров В.В., Федотов В.П., Фадеев В.В., Сивоволов В.А.
- Всероссийская Конференция : VI Респ. конф. молодых ученых и специалистов, 16-17 апреля, тезисы с.125-126.
- Даты проведения конференции: 1987
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: Сивоволов В.А.
- Место проведения: Тбилиси
- Добавил в систему: Чубаров Василий Васильевич