|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Электроосаждение сверхтонких пленок меди на компоненты микроэлектронных структурдоклад на конференции
- Авторы: Кругликов С.С., Гвоздев В.А., Тураев Д.Ю., Валеев А.С.
- Всероссийская с международным участием Конференция (Выставка) : Тез. докл. 10-ой междунар. конф. «Покрытия и обработка поверхности»., 26-28.03.2013, с. 104-105
- Даты проведения конференции: 26-28 марта 2013
- Дата доклада: 26 марта 2013
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Москва, СК "Олимпийский", Russia
- Добавил в систему: Кругликов Сергей Сергеевич