ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
ИПМех РАН |
||
Рассматриваются особенности плазмохимических конверсий и механизмов генерации излучения плазмы в H/C/Ar, H/C/N и H/C/B смесях в различных пространственных областях плазменно-активированных реакторов для осаждения алмазных пленок (PACVD реакторов). Представлены результаты совместных теоретических (с использованием разработанных 2-D(r,z) моделей основных процессов плазменной активации осаждения пленок) и экспериментальных (с использованием оптической спектрометрии, калориметрии и лазерной диагностики многопроходного поглощения (CRDS)).