|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Литография и создание наноразмерных структур с помощью литографии на сканирующем электронном микроскопе SUPRA 40доклад на конференции
- Автор: Преснов Д.Е.
- Всероссийская с международным участием Конференция (Семинар (workshop)) : Научно-практический семинар Инновационные технологии Carl Zeiss 110 лет Carl Zeiss в России
- Даты проведения конференции: 17-18 октября 2013
- Дата доклада: 18 октября 2013
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: Преснов Д.Е.
- Место проведения: Москва, Russia
-
Аннотация доклада:
Проведена демонстрация процесса электронной литографии на примере структур из кремния на изоляторе. Показаны этапы формирования как самого нанопровода, размером менее 100 нм, так и методов изготовления макроскопических подводящих проводов в едином вакуумном цикле
- Добавил в систему: Преснов Денис Евгеньевич