Исследование стойкости диагностических окон в условиях очистки в ВЧ разряде в D2, Ne и их смесяхдоклад на конференции
-
Авторы:
Буховец В.Л.,
Городецкий А.Е.,
Залавутдинов Р.Х.,
Маркин А.В.,
Золотаревский В.И.,
Мухин Е.Е.,
Казанский Л.П.,
Рыбкина Т.В.,
Дмитриев А.М.,
Раздобарин А.Г.,
Архипушкин И.А.
-
Международная Конференция :
XXI конференция "Взаимодействие плазмы с поверхностью"
-
Даты проведения конференции:
24-25 января 2018
-
Дата доклада:
25 января 2018
-
Тип доклада:
Устный
-
Докладчик:
Буховец В.Л.
-
Место проведения:
Москва, Russia
-
Добавил в систему:
Залавутдинов Ринад Харисович