Описание:Рассмотрены история создания, физические основы и современное применение методов электронной спектроскопии для анализа поверхности, тонких пленок и покрытий. Особое внимание уделено воздействию низкотемпературной неравновесной плазмы, ионов и атомов на состояние поверхности твердых тел.