Описание:Физические и технологические пределы КМОП-технологии. Возможности для преодоления трудностей КМОП-технологии в наносистемах: использование наночастиц, нанотрубок, нановискеров, молекул.
Требования к свойствам нанообъектов для построения систем наноэлектроники на их основе.Основные проблемы построения/изготовления наносистем суб-5 нм масштаба
Создание СТМ- наносистем суб-5 нм масштаба, использование СТМ/АСМ для формирования планарных наноструктур суб-5 нм масштаба (в том числе – молекулярных. Физические основы методов тонкопленочной технологии. Создание молекулярных наноструктур электрохимическим способом,
Явление электромиграции атомов и его использование для создания нанозазоров между электродами,
Методика запыления «висящего» зазора, «торцевые» переходы.
Проблемы визуализации предельно узких зазоров (1-5 нм) между электродами молекулярных наноструктур, определение геометрических параметров таких наноструктур.
Методы «встраивания» молекул/наночастиц в систему электродов, проблемы интерфейса.
Особенности методик измерения характеристик и параметров молекулярных наносистем. Характеристики молекулярных одноэлектронных планарных транзисторов, полученные параметры транзисторов.
Возможности и перспективы построения атомных одноэлектронных транзисторов.
Возможные информационные устройства суб-10 нм уровня, их ожидаемые параметры, преимущества, перспективы построения с помощью рассмотренных методов.