Аннотация:Магистерская диссертация посвящена созданию тонких пленок SiOx с различными значениями показателя стехиометрии и структур на их основе, а также последующему анализу фотолюминесцентных свойств изготовленных образцов, содержащих нанокристаллы кремния, образовавшиеся в них вследствие термического отжига. Исследовано влияние локального окружения на люминесцентные свойства нанокристаллов кремния, а также исследована возможность оптимизации параметров изучаемых структур для получения максимальной эффективности фотолюминесценции.