Аннотация:В результате проведенного исследования многослойной структуры Al2O3/Cr(70Å)/[Fe(8Å)/ Cr(10.5Å)]х30/Cr(12Å) с ультратонкими слоями железа и хрома методом рентгеновской рефлектометрии и GISAXS был определён период структуры, выявлено нарушение периодичности для поверхностных слоёв и уменьшение поверхностной плотности (что мы связываем с окислением поверхности). Показано также, что в структуре существуют слои, периодически повторяющиеся по глубине, с хаотически распределёнными в плоскости неоднородностями со средним радиусом 35 нм, и повторяющиеся слои, в которых распределение неоднородностей со средним радиусом 10 нм частично скоррелировано: имеет среднее межчастичное расстояние 34 нм , и их распределение можно описать функцией Гаусса со среднеквадратичным отклонением 20 нм. Моделирование показало, что при данных параметрах эксперимента невозможно отличить, какие особенности относятся к слоям железа, а какие к слоям хрома, ввиду маленького контраста между восприимчивостями железа и хрома на длине волны 0.0951 нм. В результате подбора различных параметров кластерно-слоистой структуры получена модельная карта GISAXS качественно похожая на экспериментальную карту GISAXS. Модельные расчеты карт GISAXS проведенные для длины волны излучения 1ю7566 нм (для которой контраст восприимчивостей слоев железа и хрома достаточно велик) показали принципиальную возможность связать степень сплошности слоёв с их локализацией в кластерно-слоистой многослойной структуре.