|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Экспериментальное исследование процесса травления фоторезиста в высокочастотном разрядедипломная работа (Специалист)
- Научные руководители: Савинов В.П., Маляров А.В.
- Автор: Гордеев А.И.
- Тип: Специалист
- Организация, в которой проходила защита: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Год защиты: 1987
- Добавил в систему: Савинов Владимир Павлович