Аннотация:Работа посвящена исследованию рельефа поверхности тонких пленок ферритов-гранатов, изготовленных методами ионного распыления и жидкофазной эпитаксии при различных параметрах, методом сканирующей зондовой микроскопии и определению связи параметров изготовления и и обработки пленок с качеством их поверхности.