Формирование периодических структур микронного и субмикронного масштабов на поверхностях аморфного кремния, нитрида и карбида кремния фемтосекундными лазерными импульсамидипломная работа (Бакалавр)
Аннотация:В дипломе отработана технология изготовления поверхностных периодических микро- и наноструктур с различными периодами на поверхностях аморфного кремния, нитрида и карбида кремния при различных режимах облучения фемтосекундными лазерными импульсами. Показано, что период формируемых поверхностных структур зависит как от стратегии облучения: типа, расстояния между проходами лазерных импульсов и скорости сканирования, так и от параметров лазерного пучка: длины волны, мощности и диаметра. Анизотропно модифицированные фемтосекундными лазерными импульсами пленки аморфного кремния могут рассматриваться в качестве перспективной основы для элементов фотовольтаики, обладающих чувствительностью к поляризации падающего света и направлению прикладываемого тока.