Организация, в которой проходила защита:МГУ имени М.В. Ломоносова,
ФИЗИЧЕСКИЙ ФАКУЛЬТЕТ, КАФЕДРА ФИЗИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ И КРИОЭЛЕКТРОНИКИ
Год защиты:2022
Аннотация:Настоящая работа посвящена разработке высокодобротных наноэлектромеханических резонаторов с регулируемой резонансной частотой и исследованию их характеристик с применением численного моделирования.