Химический состав и физико-механические свойства поверхностных слоев многослойных пленок Ti/Al после ионно-лучевого перемешиваниядипломная работа (Бакалавр)
Аннотация:Методами атомной силовой микроскопии, тестов на микротвердость и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии исследовано влияние дозы облучения ионами аргона на изменение микротвердости, морфологии поверхности и состава поверхностных слоев многослойных плёнок Ti/Al на поверхности титана ВТ1-00. Выявлено немонотонное изменение параметра шероховатости и перепада высот в зависимости от дозы облучения ионами аргона. Изменение морфологии поверхности обусловлено конкуренцией процессов распыления поверхности и роста зерен, вызванного радиационным отжигом. Обнаружено немонотонное изменение микротвердости многослойных пленок Ti/Al в зависимости от дозы облучения ионами аргона. Микротвердость образца облученного с дозой 1017 ион/см2 увеличивается в 1,4 и 1,9 раз в зависимости от нагрузки на индентор. При ионно-лучевом перемешивании плёнок Ti/Al в поверхностных слоях создаются условия для формирования интерметаллидов данных металлов, возможно, выделяются наноразмерные частицы интерметаллидного соединения TiAl имеющие очень высокую твердость.