|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Исследование морфологии и структуры тонких пленок нитрида алюминия методами зондовой и электронной микроскопиидипломная работа (Магистр)
- Научный руководитель: Гейдт Павел Викторович
- Автор: Миронова Мария Ивановна
- Тип: Магистр
- Организация, в которой проходила защита: Новосибирский государственный университет (НГУ)
- Год защиты: 2022
- Аннотация: Мотивацией исследования является создание SMR BAW-резонатора в основе работы которого лежит возбуждение продольной объемной акустической волны в тонкой пленке AlN. Однако при создании тонкопленочного резонатора возникают сложности: определяющую роль играют технологические параметры роста пленок AlN. Основной проблемой исследования является поиск оптимальных параметров роста тонких пленок AlN в магнетронной установке. В виду того, что параметров достаточно много (время напыления, температура мишени, напряжение на магнетроне, соотношение потоков газов, давление в камере, скорость роста пленок), то их анализ и представление несколько затруднено. В данной работе в качестве постоянных параметров выбраны: давление в камере магнетрона, температура подложки и соотношение потоков газов аргона и азота. Варьируются значения напряжения магнетронного разряда и времени напыления тонких пленок AlN. Основными задачами исследования являются: • определение морфологии и параметров шероховатости поверхности AlN методом атомно-силовой микроскопии; • изучение зависимости пьезоэлектрических свойств AlN от мощности, подаваемой на мишень, методом пьезосиловой микроскопии; • получение данных об элементном составе пленок AlN методикой РЭМ EDX; • определение толщины, степени кристалличности и получение данных об внутренней структуре пленок методом просвечивающей электронной микроскопии, а также с помощью методики резки кросс-секции сфокусированным ионным пучком; Целью данной работы является представление и анализ полученных данных вышеизложенными методами, а также поиск зависимостей характеристик пленок от параметров роста в магнетронной установке.
- Добавил в систему: Гейдт Павел Викторович