Организация, в которой проходила защита:
Новосибирский государственный университет (НГУ)
Год защиты:2022
Аннотация:Мотивацией исследования является создание SMR BAW-резонатора в основе работы которого лежит возбуждение продольной объемной акустической волны в тонкой пленке AlN. Однако при создании тонкопленочного резонатора возникают сложности: определяющую роль играют технологические параметры роста пленок AlN.
Основной проблемой исследования является поиск оптимальных параметров роста тонких пленок AlN в магнетронной установке. В виду того, что параметров достаточно много (время напыления, температура мишени, напряжение на магнетроне, соотношение потоков газов, давление в камере, скорость роста пленок), то их анализ и представление несколько затруднено. В данной работе в качестве постоянных параметров выбраны: давление в камере магнетрона, температура подложки и соотношение потоков газов аргона и азота. Варьируются значения напряжения магнетронного разряда и времени напыления тонких пленок AlN.
Основными задачами исследования являются:
• определение морфологии и параметров шероховатости поверхности AlN методом атомно-силовой микроскопии;
• изучение зависимости пьезоэлектрических свойств AlN от мощности, подаваемой на мишень, методом пьезосиловой микроскопии;
• получение данных об элементном составе пленок AlN методикой РЭМ EDX;
• определение толщины, степени кристалличности и получение данных об внутренней структуре пленок методом просвечивающей электронной микроскопии, а также с помощью методики резки кросс-секции сфокусированным ионным пучком;
Целью данной работы является представление и анализ полученных данных вышеизложенными методами, а также поиск зависимостей характеристик пленок от параметров роста в магнетронной установке.