Исследование структурно-фазовых характеристик и дефектной структуры тонких пленок на основе нитрида циркония рентгендифракционными методамидипломная работа (Бакалавр)
Аннотация:Проведено рентгендифракционное установление структурно-фазовых характеристик и тонкой атомной структуры 5 мкм покрытий, напыленных на стальную подложку методом вакуумно-дугового напыления циркония в атмосфере азота, углерода и кислорода. Также проведено исследование интегральных интенсивностей и интегральных ширин дифракционных максимумов, полученных покрытий, с целью установления в них типа дефектной структуры в зависимости от химического состава.