Аннотация:Методами микроскопии высокого разрешения, динамического и комбинационного рассеяния света проведено сравнение структурных свойств кремниевых наночастиц, сформированных методом пикосекундной лазерной абляции мишеней монокристаллического и пористого кремния. Использование пластин монокристаллического кремния для абляции позволяет получать наночастицы с меньшим размером, но меньшей степени кристалличности по сравнению с аблированным пористым кремнием ввиду меньшего порога абляции в последнем случае. Изучение спектров фотолюминесценции исследуемых образцов выявило, что эффективность данного процесса для аблированного микропористого кремния уменьшается по сравнению с исходной пленкой ввиду высокой интенсивности окисления кремниевых нанокристаллов размером несколько нанометров под воздействием лазерных импульсов. Напротив, в случае аблированных частиц мезопористого кремния удается добиться многократного увеличения интенсивности фотолюминесценции за счет формирования из исходных кремниевых образующих размером 20–70 нм нанокомпозитных систем типа ядро – оболочка на основе кремний – оксид кремния.