|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Влияние параметров ионного облучения на формирование нанорельефа поверхности кремния и германиядипломная работа (Специалист)
- Научные руководители: Солдатов Е.С., Черныш В.С.
- Автор: Кудрявцев А.В.
- Тип: Специалист
- Организация, в которой проходила защита: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Год защиты: 2006
- Аннотация: Проведено детальное исследование процессов образования нанорельефа поверхности полупроводников кремния и германия под воздействием ионного облучения поверхности, измерены геометрические характеристики этого нанорельефа, проведено исследование влияния на эти характеристики параметров ионного пучка, таких как доза облучения, энергия ионов и род ионов. Основным достоинством работы и полученных результатов является проведение комплексного экспериментального исследования явления образования нанорельефа при различных параметрах процесса, что позволило определить роль каждого параметра в формировании вида проверхности. Проведена трактовка результатов и построена качественная модель процесса.
- Добавил в систему: Солдатов Евгений Сергеевич