|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Исследование роли параметров ионного облучения в формировании нанорельефа на поверхности полупроводниковых материалов.дипломная работа (Специалист)
- Научный руководитель: Черныш В.С.
- Автор: Петров Д.В.
- Тип: Специалист
- Организация, в которой проходила защита: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Год защиты: 2009
- Аннотация: В начале 90-х годов прошлого века было установлено, что зонную структуру кремния можно изменять за счёт формирования структур нанометрового масштаба. Современные литографические техпроцессы не обладают достаточным разрешением, чтобы выйти на необходимые для модернизации зонной структуры размеры. Методики формирования наноструктур, обладающие достаточной для массового производства производительностью, по-видимому, должны основываться на явлениях самоорганизации. В данной работе рассматривается достаточно оригинальный метод ионного облучения. Впервые явление самоорганизации, заключающееся в формировании упорядоченной системы нанохолмов, удалось наблюдать во время бомбардировки поверхности ионами низких энергий в работ. Эти результаты подали большие надежды, что ионное облучение может быть хорошим технологическим инструментом для формирования наноструктур с заданными параметрами. На основании выше изложенного можно сделать вывод, что исследование зависимости параметров формируемого нанорельефа, от параметров процесса ионного облучения, имеет большое значение для современной науки и техники. Данным исследованиям и посвящена настоящая дипломная работа.
- Добавил в систему: Черныш Владимир Савельевич