|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Разработка методов получения кластерных ионовдипломная работа (Специалист)
- Научный руководитель: Черныш В.С.
- Автор: Иешкин А.Е.
- Тип: Специалист
- Организация, в которой проходила защита: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Год защиты: 2011
- Аннотация: На сегодняшний день пучки ускоренных атомов или молекул широко применяются как для решения технологических проблем, так и в научных исследованиях. Используются такие методы диагностики состава и структуры материалов, как резерфордовское обратное рассеяние (РОР), масс-спектрометрия вторичных ионов (МСВИ) и др. Важными инструментами создания микроэлектронных устройств являются ионное распыление поверхности, ионная имплантация, ионно-ассистированное осаждение тонких пленок. Ионные пучки применяются для упрочнения материалов и их защиты от коррозии. В последние годы активно исследуются особенности взаимодействия кластерных ионов с поверхностью твердых тел. Кластеры занимают промежуточное место между отдельными атомами и крупными образованиями, твердыми телами. Кластеры – это совокупности атомов, от нескольких до нескольких десятков тысяч, объединенных силами различной природы. Это могут быть силы Ван-дер-Ваальса, ковалентные химические связи, металлические связи и пр. Взаимодействие кластерных ионов и мономеров с поверхностью твердых тел значительно различаются. При ударе атомного иона о поверхность формируется линейный каскад столкновений. Такой процесс хорошо описывается теорией Зигмунда. В случае же удара кластерного иона, с поверхностью одновременно взаимодействует большое количество атомов. При этом, как показали компьютерные расчеты, в ограниченной области соударения выделяется значительная энергия и развиваются нелинейные процессы. Локальная температура может достигать 10^4 - 10^5 К, а давление – несколько Мбар. В таких экстремальных условиях могут происходить новые физические явления, не наблюдающиеся при облучении поверхности мономерами. Изучение взаимодействия кластеров с твердыми телами неразрывно связано с проблемой формирования пучков газовых кластерных ионов. Данная работа посвящена разработке методов получения газовых кластерных ионов. Приводится описание ускорителя газовых кластерных ионов и результаты экспериментов по формированию и исследованию пучка ускоренных кластеров.
- Добавил в систему: Черныш Владимир Савельевич