Аннотация:Цель работы: изучения изменения микротвердости поверхностных слоев покрытия сформированного ионно-лучевым перемешиванием, пленках алюминия и титана на подложке железа.
С увеличением энергии ионов с 20 до 40 кэВ, температура образцов в процессе облучения возрастает до 300°С. Все это приводит к отжигу остаточных дефектов в пленке Ti-Al и, как следствие, к уменьшению микротвердости.