|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Исследование осаждения АП в непрерывном и импульсно-периодическом режиме на трехмагнетронной СВЧ установкекурсовая работа (Магистр)
- Научный руководитель: Минаков П.В.
- Автор: Чумичев Евгений Алексеевич
- Тип: Магистр
- Организация, в которой проходила защита: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Кафедра: Кафедра атомной физики, физики плазмы и микроэлектроники
- Год защиты: 2016
- Курс: 5
- Добавил в систему: Минаков Павел Владимирович