Аннотация:В настоящее время все большее внимание в химии и материаловедении отводится мультиферроикам - материалам с важными магнитными и электрическими свойствами, а также свойствами, связанными с взаимодействием данных подсистем, также особенно важной оказывается их способность преобразовывать магнитное поле в электрическое.
Одним из таких материалов является LuFe2O4, открытый лишь в 1970-х годах и еще не до конца исследованный в тонкопленочном виде, необходимом для микроэлектроники. Стоит отметить, что синтез этих соединений усложнен существованием необходимой фазы лишь в узком диапазоне низких парциальных давлений кислорода.
В литературе описано получение пленок методом химического осаждения из пара летучих металлорганических соединений (MOCVD - metalorganic chemical vapour deposition). Основными плюсами этого метода являются относительно простое оборудование, не требующего ультравысокого вакуума, возможность достигать высоких скоростей осаждения – до нескольких мм/час (за счет высокого давления пара летучего вещества или большой скорости потока газа-носителя), при этом сохраняя высокое качество пленки.
Таким образом, целью данной работы стал синтез тонких пленок LuFe2O4 с использованием метода MOCVD и восстановительного отжига с использованием геттерных смесей.