|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Моделирование изображения в оптической литографии. Структура типа T-JUNCTIONкурсовая работа (Специалист)
- Научные руководители: Рыжикова Ю.В., Белокопытов Г.В.
- Автор: Фатеева Ю.Г.
- Тип: Специалист
- Организация, в которой проходила защита: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Кафедра: Кафедра физики колебаний
- Год защиты: 2007
- Курс: 2
- Аннотация: Проведено численное моделирование формирования изображения структур типа T-JUNCTION в проекционной оптической литографии.
- Добавил в систему: Рыжикова Юлия Владимировна