Аннотация:Разработка новых методов in-situ анализа приводит к более глубокому пониманию процессов формирования пленок из углеродных материалов в процессе химического осаждения из газовой фазы (chemical vapor deposition – CVD). В данной работе приведено описание сканирующего зондового микроскопа спроектированного для изучения зарождения и роста тонких углеродных пленок, полученных при конденсации газовой смеси водорода и метана, активированной методом «горячей нити». Данный метод позволяет проводить измерения топологии поверхности материала и таких электрических характеристик как ширина запрещенной зоны, положение уровня Ферми и электрическое сопротивление в случае плохо проводящих пленок непосредственно в процессе роста. В данной работе представлен этап конструирования с описанием характеристик и первых результатов работы этого микроскопа.