Аннотация:Карбоксилаты металлов с общей формулой M(RCOO)x, где RCOO- — анион одноосновной предельной карбоновой кислоты, представляют большой интерес в качестве металл-органических прекурсоров. Одна из причин этого состоит в том, что при разложении они относительно легко переходят в устойчивые оксиды.
Трифторацетаты, так же как и другие карбоксилаты, переходят в оксиды при отжиге в присутствии воды. В некоторых случаях такой прием (использование трифторацетатов) позволяет избежать образования карбоната. Однако известно, что трифторацетаты многих металлов проявляют летучесть.
Диоксиды циркония (ZrO2) и гафния (HfO2) используются в качестве диэлектрических слоев (low-k materials — HfO2), антиотражающих покрытий (ZrO2), в составе сложных оксидов (La2Hf2O7, La2Zr2O7, YSZ). Поэтому химические способы их синтеза занимают важное место, как при получении порошков, так и при изготовлении пленок.
В связи с этим актуальность настоящей работы заключается в рассмотрении трифторацетатов циркония и гафния в качестве прекурсоров для получения соответствующих оксидов.