Аннотация:В работе решалась задача изготовления металлической пленочной микроструктуры, представляющей собой поверхностный акустоэлектронный встречно-штыревой преобразователь. При этом разработана методика формирования таких микроструктур методами фотолитографии и напыления тонких пленок и изготовлены акустоэлектронные встречно-штыревые преобразователи с шириной зазора между штырьками 5 мкм. Показано отсутствие закороток между ними, что показывает пригодность структур для использования в акустоэлектронике.