ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
ИПМех РАН |
||
Сконструирована, построена и исследована экспериментальная установка на основе электрического разряда в полом катоде - плазменный источник ионов широкого класса элементов, как газов, так и тугоплавких тел (типа железа, вольфрама, углерода и др.), дающая интенсивные ионные пучки для целей микроэлектроники.