|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Разряд в полом катоде как универсальный источник ионовдиссертация
- Научный руководитель: Дубинина Е.М.
- Автор: Ибадов С.
- Дата защиты: 25 июня 1970 года в 14:00
- Шифр диссертационного совета: Д 002.113.03
- Организация: ИКИ РАН
- Область знаний: Физика и математика
- Специальности: 01.04.03 - Радиофизика, 05.27.01 - Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
- Тип диссертации: Кандидатская
- Ведущая организация: НИИ Прикладной физики РАН
- Организация, в которой выполнялась работа: МГУ имени М.В. Ломоносова, Физический факультет
- Оппоненты: Чернетский А.В., Гороховский Ю.В.
-
Аннотация:
Сконструирована, построена и исследована экспериментальная установка на основе электрического разряда в полом катоде - плазменный источник ионов широкого класса элементов, как газов, так и тугоплавких тел (типа железа, вольфрама, углерода и др.), дающая интенсивные ионные пучки для целей микроэлектроники.
- Добавил в систему: Ибадов Субхон Ибодович