|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Неразрушающие высоколокальные методы электронно-зондовой диагностики приборных структур микро- и наноэлектроники.диссертация
- Научный руководитель: Рау Э.И.
- Автор: Орликовский Н.А.
- Дата защиты: 26 сентября 2012 года в 15:00
- Шифр диссертационного совета: Д 002.204.01
- Организация: Физико-технологический институт РАН
- Область знаний: Физика и математика
- Специальность: 05.27.01 - Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
- Тип диссертации: Кандидатская
- Ведущая организация: Физико-технологическом институте Российской академии наук
- Добавил в систему: Рау Эдуард Иванович