ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ФОРМИРОВАНИЯ ИЗОБРАЖЕНИЯ В ПРОЕКЦИОННОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ - диссертация | ИСТИНА – Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных

Научный руководитель: Белокопытов Г.В.
Автор: Рыжикова Ю.В.
Дата защиты: 20 ноября 2008 года
Шифр диссертационного совета: Д 501.001.67
Организация: МГУ имени М.В. Ломоносова
Область знаний: Физика и математика
Специальность: 01.04.03 - Радиофизика
Тип диссертации: Кандидатская
Ведущая организация: Физико-технологический институт РАН
Организация, в которой выполнялась работа: МГУ имени М.В. Ломоносова
Аннотация:
Рассмотрен и решен ряд важных задач, позволивших усовершенствовать современные методы проекционной литографии. В частности, исследовано формирование оптического изображения с помощью нового типа фазово-растровых масок, а также их перестраиваемого аналога – пространственного модулятора света.
Добавил в систему: Рыжикова Юлия Владимировна

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	ИПМех РАН
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

ИСТИНА