|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Физический механизм формирования электронного энергетического спектра приэлектродной плазмы емкостного ВЧ разряда низкого давлениядиссертация
- Научные руководители: Александров А.Ф., Савинов В.П.
- Автор: Сингаевский И.Ф.
- Дата защиты: 24 мая 1998 года в 15:30
- Шифр диссертационного совета: Д 501.001.66
- Организация: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Область знаний: Физика и математика
- Специальность: 01.00.00 - ФИЗИКО-МАТЕМАТИЧЕСКИЕ НАУКИ
- Тип диссертации: Кандидатская
-
Аннотация:
Экспериментально исследован физический механизм формирования аномально неравновесного энергетического электронного спектра приэлектродной плазмы емкостного ВЧ разряда низкого давления.
- Добавил в систему: Савинов Владимир Павлович