ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
ИПМех РАН |
||
Диссертация посвящена исследованию влияния параметров фемтосекундного лазерного облучения и термического отжига на структурные, оптические и электрофизические свойства пленок аморфного гидрогенизированного кремния (a-Si:H), а также сверхрешеток на основе нестехиометрических слоев оксида (SiOx) и нитрида (SiNх) кремния. Продемонстрирована возможность управления морфологией и ориентацией периодического микрорельефа, формируемого фемтосекундным лазерным излучением на поверхности a-Si:H, за счет изменения количества лазерных импульсов. В объеме обрабатываемой пленки a-Si:H обнаружено формирование нанокристаллов полиморфных модификаций Si-III и Si-XII, демонстрирующих анизотропию сигнала комбинационного рассеяния света. Установлена взаимосвязь между формированием периодического рельефа на поверхности модифицированной пленки a-Si:H и возникновением анизотропии её проводимости. Обнаружен эффект резистивного переключения в сверхрешетках на основе SiNх, отожженных при 1150 °C, проявляющийся за счет формирования при отжиге кремниевых нанокристаллов в объеме сверхрешетки. Показана корреляция между характерными особенностями спектров и кинетики фотолюминесценции сверхрешеток на основе SiOx и SiNх и формированием в них кремниевых нанокристаллов или аморфных нанокластеров в результате отжига при температурах 1150 и 900 °C, соответственно.
№ | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
---|---|---|---|---|---|
1. | Заключение диссертационного совета по диссертации | Исправлена опечатка | Zaklyuchenie_soveta_-_Shulejko_NS-1.pdf | 407,9 КБ | 10 декабря 2019 |
2. | Отзыв на автореферат | Otzyiv_na_avtoreferat_-_Komlenok.pdf | 295,2 КБ | 8 октября 2019 | |
3. | Отзыв на автореферат | Otzyiv_na_avtoreferat_-_Emelyanov.pdf | 1,2 МБ | 8 октября 2019 | |
4. | Отзыв официального оппонента | Otzyiv_na_dissertatsiyu_-_Kudryashov.pdf | 379,7 КБ | 8 октября 2019 | |
5. | Отзыв на автореферат | Otzyiv_na_avtoreferat_-_Bessonov.pdf | 1021,2 КБ | 15 октября 2019 | |
6. | Заключение диссертационного совета по диссертации | Zaklyuchenie_soveta_-_Shulejko_NS.pdf | 235,4 КБ | 23 октября 2019 | |
7. | Отзыв на автореферат | Otzyiv_na_avtoreferat_-_Kuchmizhak.pdf | 1,9 МБ | 15 октября 2019 | |
8. | Отзыв научного руководителя/консультанта | Otzyiv_rukovoditelya_Zabotnov_new.pdf | 81,3 КБ | 25 октября 2019 | |
9. | Решение дисс.совета о приеме/отказе к защите | 2019-09-11-03-28-14.pdf | 52,5 КБ | 12 сентября 2019 | |
10. | Автореферат | 2019-09-10_Avtoreferat_Shulejko_-_finalnyij.pdf | 1,5 МБ | 11 сентября 2019 | |
11. | Отзыв на автореферат | Otzyiv_na_avtoreferat_-_Shandyibina.pdf | 1,2 МБ | 4 октября 2019 | |
12. | Отзыв на автореферат | Otzyiv_na_avtoreferat_-_Yakovlev.pdf | 511,4 КБ | 4 октября 2019 | |
13. | Отзыв официального оппонента | Otzyiv_na_dissertatsiyu_-_Arakelyan.pdf | 406,8 КБ | 4 октября 2019 | |
14. | Отзыв официального оппонента | Otzyiv_na_dissertatsiyu_-_Kulbachinskij.pdf | 403,7 КБ | 4 октября 2019 | |
15. | Полный текст диссертации | 2019-08-27_Dissertatsiya_Shulejko_-_finalnaya.pdf | 6,4 МБ | 2 сентября 2019 | |
16. | Сведения о научном руководителе | Shulejko_-_Svedeniya_o_rukovoditele.pdf | 383,6 КБ | 4 сентября 2019 | |
17. | Сведения об официальных оппонентах, включая публикации | Shulejko_-_Svedeniya_ob_opponentah.pdf | 409,5 КБ | 4 сентября 2019 |