![]() |
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Тонкие пленки - основной структурный элемент многослойных оптических покрытий, широко применяющихся в бытовых и промышленных оптических и оптоэлектронных устройствах. Характеристики тонких пленок,важные с точки зрения их практического использования, существенно зависят от технологических параметров процесса их напыления. Экспериментальное исследование этих зависимостей требует проведения разнообразных и довольно дорогостоящих научных экспериментов. В то же время большой прогресс в развитии вычислительных средств в последние десятилетия открывает новые перспективы в использовании математического моделирования с целью изучения зависимостей свойств пленок от условий их изготовления. В рамках диссертационной работы проведено комплексное математическое моделирование процесса напыления тонких пленок, разработаны численные методы и реализующие их программы для расчета характеристик пленок, важных с точки зрения их практического применения. Математическое моделирование проведено в приближении классической молекулярной динамики, в рамках которой каждый атом рассматривается как классическая частица с заданной массой, движущаяся согласно законам Ньютона в соответствии с заданным выражением для потенциальной энергии межатомного взаимодействия. В рамках моделирования описывается процесс роста напыляемых пленок в зависимости от параметров напыления - плотности потока насаждаемых атомов, распределении осаждаемых атомов по величине и направлению их начальных скоростей, температуры подложки, состава атмосферу в вакуумной камере. Разработанные численные методы позволяют рассчитать структурные и механические свойства напыленных тонких пленок - профили плотности по толщине пленки, структурные неоднородности, концентрацию и геометрию точечных дефектов, влияющих на оптические свойства, пористость, поверхностную шероховатость, статистику структурных колец, напряжения, возникающие в процессе напыления вследствие различий свойств подложки и пленки и др.
№ | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
---|---|---|---|---|---|
1. | Заключение диссертационного совета по диссертации | Grigoriev_zakluchenie_diss_sovet.pdf | 3,4 МБ | 4 января 2020 | |
2. | Отзыв на автореферат | Grigoriev_otziv_na_avtoreferat_Bagaturianz.pdf | 2,0 МБ | 21 декабря 2019 | |
3. | Отзыв официального оппонента | Grigoriev_otziv_of_opp_Bogolubov.pdf | 2,6 МБ | 23 декабря 2019 | |
4. | Отзыв официального оппонента | Grigoriev_otziv_of_opp_Norman.pdf | 4,4 МБ | 18 декабря 2019 | |
5. | Отзыв на автореферат | Grigoriev_otziv_na_avtoreferat_Jakobovskiy.pdf | 1,8 МБ | 10 декабря 2019 | |
6. | Отзыв официального оппонента | Grigoriev_otziv_of_opp_Shaytan.pdf | 3,2 МБ | 10 декабря 2019 | |
7. | Отзыв на автореферат | Grigoriev_otziv_na_avtoreferat_Nemukhin.pdf | 1,7 МБ | 10 декабря 2019 | |
8. | Отзыв на автореферат | Grigoriev_otziv_na_avtoreferat_Nikitenko.pdf | 1,7 МБ | 10 декабря 2019 | |
9. | Отзыв на автореферат | Grigoriev_otziv_na_avtoreferat_Katin.pdf | 1,5 МБ | 13 декабря 2019 | |
10. | Сведения об официальных оппонентах, включая публикации | Grigoriev_svedenia_of.opp.pdf | 2,2 МБ | 30 октября 2019 | |
11. | Сведения о научном руководителе | Grigoriev_svedenia_n.k.pdf | 819,6 КБ | 18 октября 2019 | |
12. | Отзыв научного руководителя/консультанта | Grigoriev_otziv_n.k.pdf | 2,9 МБ | 18 октября 2019 | |
13. | Решение дисс.совета о приеме/отказе к защите | Grigoriev_protokol_priniatie_k_zaschite.pdf | 1,0 МБ | 18 октября 2019 | |
14. | Автореферат | Grigoriev_avtoreferat.pdf | 1,4 МБ | 18 октября 2019 | |
15. | Полный текст диссертации | Grigoriev_dissertation.pdf | 5,1 МБ | 21 октября 2019 |