|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Плазмохимическое осаждение углеродных нано- и микроструктур для применения в электроникедиссертация
- Научный руководитель: Рахимов А.Т.
- Автор: Кривченко Виктор Александрович
- Год защиты: 2010
- Шифр диссертационного совета: Д 501.001.45
- Организация: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Область знаний: Физика и математика
- Специальность: 01.04.08 - Физика плазмы
- Тип диссертации: Кандидатская
- Добавил в систему: Рахимов Александр Турсунович