ИСТИНА

Цель работы состояла в создании и экспериментальной апробации способа объектно-ориентированного сканирования (ООС) поверхности. Применяя процедуру распознавания и ряд специальных приёмов, производится поочерёдное многократное сканирование небольших расположенных по соседству друг с другом окрестностей топографических объектов (особенностей) поверхности. После чего из полученных фрагментов собирается искомое изображение рельефа свободное от шумов и от искажений, связанных с дрейфом зонда микроскопа относительно исследуемой поверхности. Для достижения поставленной цели были разработаны: • методы итеративного и прямого распознавания особенностей поверхности в реальном масштабе времени; • способ связывания особенностей путём обхода контура с присоединением новых элементов цепи и способ связывания с использованием вспомогательных квазистрок особенностей; • функции компенсации, учёта и мониторинга дрейфа микроскопа посредством периодической “привязки” зонда к особенности поверхности; • процедура многократного скиппинга между текущей и следующей особенностями цепочки с усреднением полученных данных; • методика автоматической распределённой калибровки сканера микроскопа; • алгоритм сборки сегментного изображения рельефа поверхности; • способы прецизионного позиционирования зонда по локальным особенностям поверхности в поле точного манипулятора; • способ прецизионного переноса поля точного манипулятора в поле грубого; • методика повышения чувствительности спектроскопических измерений и точности их локализации на поверхности; • функции сбора и накопления статистической информации, характеризующей особенности исследуемой поверхности. Совокупность предложенных методов должна обеспечить широкое внедрение СЗМ в практику особоточных измерений, метрологию, нанолитографию, кристаллографию, молекулярную биологию и в другие области науки и техники.